GF80系列美国brooks流量控制器采用畅销的 GF100 系列相同的快速响应传感器和获得的第 4代MultiFlo ™ 技术进行设计,它是需要以提供高性能的操作的正确选择观点。转向金属密封 MFC 带来了 MultiFlo TM多气体/多范围能力的全部优势,因为可以使用的气体没有限制,由于消除了氧气通过弹性体的渗透而提高了气体的纯度,并且减少了在维护中,因为金属密封件将无限期地持续使用。
GF80系列美国brooks流量控制器优点如下:
快速 <1 秒的流量稳定时间消除了浪费的气体和过程可变性
没有可以透氧的弹性体密封件,随着时间的推移需要更换
MultiFlo TM简化并简化了工艺气体的变化——不再需要移除和校准 MFC
可在 60 秒内设置新气体和/或范围
测量精度不受温度变化影响
方便地访问诊断端口以最大限度地延长正常运行时间
紧凑的尺寸便于集成到狭小的机器空间;改造的选择
多协议通信接口简化了与现有系统的集成
GF80系列美国brooks流量控制器产品特征:
每年 <±0.5% 满量程的长期零位稳定性
<1 秒的稳定时间
满量程流速高达 300 slpm
全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面光洁度
耐腐蚀的 Hastelloy® 传感器可以在较低温度下用于易于热分解的气体
可编程 MultiFlo TM功能——一个设备,数千种气体类型和范围组合,无需从气体管线中移除 MFC 或影响精度
通过主动温度补偿实现的温度系数规格
嵌入式自检程序和独立的诊断/服务端口
带 VCR 配件的超薄机身
DeviceNet TM、Profibus®、RS-485 和模拟接口
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