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美国massvac MV MULTI-TRAP过滤器性能特点介绍
更新时间:2023-03-17 点击次数:356 次

   美国massvac MV MULTI-TRAP过滤器以一种新的配置提供,具有单个高容量、高效颗粒过滤器,适用于产生大量颗粒的工艺。这种大过滤器,13 英寸高 x 14 英寸直径,由耐高温褶皱聚酯材料制成,提供 40 平方英尺的表面积,颗粒截留等级为每平方英尺 60 克。过滤器有 25 英寸规格和 100 微米等级,提供 99% 的颗粒效率等级。这种大表面积和颗粒保留率的结合使其非常适合保护半导体晶圆厂中 LPCVD、PECVD 和 ALD 上使用的真空泵。

  MULTI-TRAP 直径为 16 英寸,额定电导率大于 2000 CFM @ 1 torr,全 304 不锈钢结构,带 ISO-160 端口,提供直角和直通配置。还提供用于现有安装的可选冷却附件、过滤器防护罩和改装套件。可加装陷阱堆叠模块,大大增加容量。

  美国massvac MV MULTI-TRAP过滤器性能特点如下:

1.高效,精确过滤:特殊结构的滤盘过滤技术,性能精确灵敏,确保只有粒径小于要求的颗粒才能进入系统,是有效的过滤系统;规格有5μ、10μ、20μ、55μ、100μ、130μ、200μ等多种,用户可根据用水要求选择不同精度的过滤盘。系统流量可根据需要灵活调节。

2.标准模块化,节省占地:系统基于标准盘式过滤单元,按模块化设计,用户可按需取舍,灵活可变,互换性强。系统紧凑,占地极小,可灵活利用边角空间进行安装,如处理水量300m3/h左右的设备占地仅约6m2(一般水质,过滤等级100μ)。

3.全自动运行,连续出水:在过滤器组合中的各单元之间,反洗过程轮流交替进行,工作、反洗状态之间自动切换,可确保连续出水;反洗耗水量极少,只占出水量的0.5%;如配合空气辅助反洗,自耗水更可降到0.2%以下。高速而的反洗,只需数十秒即可完成

4.寿命长:新型塑料过滤元件坚固、无磨损、无腐蚀、极少结垢,经多年工业实用验证,使用6~10年也没有磨损,不会老化,过滤和反洗效果不会因使用时间而变差。

5.高质量,维护量少:产品符合相应质量标准,所有产品在出厂前均经模拟工况检测和试运转,不需专用工具,零部件很少;易于使用,仅需定期检查,几乎不需日常维护。

  美国massvac MV MULTI-TRAP过滤器是一种高容量、高电导真空入口捕集器,可保护您的泵免受真空系统中存在的腐蚀性化学品和磨蚀性颗粒的影响。它具有三级流出物捕集系统:第一级击落重颗粒并在大表面积上冷凝挥发性固体和液体;第二级和第三级包含两组平行的过滤元件,可以定制以去除腐蚀性化学物质和细小颗粒。水冷或制冷剂冷却附件可冷却第一级,以实现更有效的冷凝。

MV MULTI-TRAP ® 有三种不同的尺寸可供选择,所有尺寸都接受该图中所示的冷却盘管模块。还提供带有冷却挡板的版本。

MULTI-TRAP ® 可以针对许多不同的安装进行配置,从重颗粒应用到产生可冷凝或有机蒸汽的应用。

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