美国BIRD 8890-300SC13型石油射频终止负荷以实现最大的过程可重复性和一致性，现代等离子体应用需要精确的RF功率调节和控制。确保准确且可重复的RF电源到腔室的关键组件是RF发电机的校准，调节和监视。现在，Bird提供超稳的低VSWR负载，可快速，精确地测量发电机功率输出时，与精确的功率传感器（例如Bird 4020系列）一起使用。 8890-300SC13不仅提供较低的VSWR，而且在Process关键频率下VSWR的总变化小于0.1 dB。由于校准不同的时间长度，不需要负载热身或重复性风险。这可以大程度地减少与此校准相关的错误，并控制更关键的过程变量之一。

  美国BIRD 8890-300SC13型石油射频终止负荷产品规格如下：

项目编号8890-300SC13项目名称2.5 kW，超稳定，石油射频终止负荷电力等级2.5 kW频率范围和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。

VSWR小于1.05：1阻抗ω50（名义）VSWR稳定性<0.1 dB，稳定频率下的额定功率从0到100％稳定频率13.56 MHz±10 kHz连接器“ QC"类型LC（女性） - 通常提供互锁热开关 - 可选通常关闭。在236°C（457°F）处打开热开关等级115 VAC，10 A

230 VAC，5 A温度范围操作： +5至+40°C（+41至+104°F）

存储： - 40至+45°C（ - 40至40至+113°F）高度1520 m（5000英尺）湿度95％的无调最大。冷却方法油介电和对流电流方面25.2“ x 7" x 17.2“

638 x 178 x 437毫米重量59磅。

27公斤结束黑色环氧树脂

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