美国PARKER 4027F60M电源传感器核心功能
更新时间:2025-08-25 点击次数:21 次
美国PARKER 4027F60M电源传感器设计用于半导体处理和其他精确过程应用程序。在校准的频率和功率水平下,这些传感器的精度具有1%的精度。这些传感器旨在与Bird 4421A系列精确的多功能电量计一起使用,可长期单位提高到单位精度的三倍。
连接器必须在传感器的输入和输出侧配备。
Bird仅使用连接器使用连接器进行校准和出售的连接器,以 +-1%的精度保证4027系列传感器。
美国PARKER 4027F60M电源传感器核心功能如下:
专为半导体加工等精密应用设计,可消除幅度调制和谐波对测量的影响,确保高精度射频功率监测。
校准频率范围:57.0 MHz至63 MHz(典型值),覆盖高频段需求
美国PARKER 4027F60M电源传感器规格:
频率范围: 57-63 MHz
功率范围: 100W至6kW
精度:校准频率和功率水平±1%
在其他频率和功率水平下
为25±10°C以外的不确定性增加2%
校准功率水平: 1700W
均匀性:以校准频率和功率水平为单位的最高单位2%
速度:每秒2读
最大功率: 10 kW单元-12 kW(最大)
6 kW单元-7.2 kW(最大)
VSWR范围: 1.0-2.0
方向性: 28 dB
插入损失: <0.05 dB
外部DC: 12 VDC,由4421a多功能电表提供
连接器:输入和输出连接器必须分别以额外费用分开订购
校准周期: 6个月。在提供单位的数据之前的性能和性能
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