V74系列美国KJLC半导体矩形闸阀规格表
更新时间：2025-09-10 点击次数：33 次
V74系列美国KJLC半导体矩形闸阀采用等离子体蚀刻，CVD，溅射沉积，太阳能电池板的制造，半导体处理LCD/平板工艺，所有其他集群真空系统。
V74系列美国KJLC半导体矩形闸阀规格表如下：
| 压力 | Torr Min： 7.50 X 10 -10 Torr Max： 900 Torr MBAR 最小值： 1.00 x 10 -9 MBAR 最大： 1200 MBAR |
|---|---|
| 费率 | 氦泄漏率 1.00 x 10 -9 mbar*l/s 7.50 x 10 -10 torr*l/s 最大差压力前 30.0 mbar 22.5 torr |
| 温度 | 烘焙执行器温度 60.0ºC140ºF 烘烤 体温 120ºC248ºF 烘焙 门温度 120ºC248ºF |
| 轴密封 类型 | 波纹管密封 |
| 循环 生活 | 1,000,000 |
| 执行器 类型 | 气动双重表演 |
| 阀体 材料 | 铝 |
| 门密封 材料 | 氟化合物（FKM） |
V74系列美国KJLC半导体矩形闸阀特征
半标准应用（Semi E21-94，Semi E24-92，Semi E21.1-1296）
获得的L动作链路和双重偏移而没有弹簧中的弹簧，使更快，更顺畅地致动，显着降低了振动
帽子法兰的真空侧的灰尘密封，几乎消除了颗粒物进入波纹管
机械锁紧
焊接的波纹肌执行器密封
单个气动执行器
引擎盖法兰螺栓设计有固定器，以消除螺栓在拆卸时掉落
