美国TESCOM VN系列高压控制阀采用无弹簧无螺纹的平衡阀芯结构，成为业内少数能满足超高纯系统要求的解决方案。其设计理念源于航空级精密控制标准，通过模块化构造实现从真空至20000 psig的宽范围压力调节，CV值覆盖0.02至20的流量需求。

  美国TESCOM VN系列高压控制阀三个典型的应用场景如下：

1. 半导体制造

在晶圆加工环节，VN系列用于：

刻蚀工艺中的特种气体压力控制（如CF4、SiH4）

化学气相沉积（CVD）反应腔体的背压调节

超纯水系统的压力稳定

2. 石油化工

高压加氢反应器的进料压力控制

腐蚀性介质（如H2S、Cl2）的隔离调节

海上平台高压管线的安全泄放

3. 新能源领域

氢燃料电池堆的氢循环系统压力管理

锂电池电解液注入的精密计量

光伏行业多晶硅生产的气体配比

  美国TESCOM VN系列高压控制阀规格

最大入口压力10,000psig/689bar

阀体材质316 不锈钢

阀座材质Vespel® SP1

O 型圈丁腈橡胶、乙烯丙烯橡胶或 Viton®

支撑环Teflon®

耐磨环聚醚醚酮 (PEEK)

Grayloc 端头Nitronic 60

其他部件316 不锈钢、17-4 不锈钢

工作温度-29°C 至 74°C/-20°F 至 165°F

端口尺寸和类型1-1/2 螺纹式 Grayloc 端头

流通能力Cv = 20

重量35 lb/15.9kg

负载类型手动

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