美国BIRD 4027A800K型定向功率传感器设计用于半导体加工和其他精密加工应用。在校准频率和功率水平下，这些传感器的精度可达 1%。这些传感器旨在与 Bird 4421A 系列精密多功能功率计配合使用，使长期单位精度提高三倍。

   美国BIRD 4027A800K型定向功率传感器应用场景介绍如下：

半导体制造与材料处理

在半导体晶圆加工中，该传感器用于实时监控射频功率输出，确保蚀刻和沉积工艺的一致性。其高精度特性可检测微小功率波动，预防设备故障，提升良品率。

工业加热与能源管理

针对高频感应加热设备，传感器支持功率闭环控制，优化能源效率。例如，在金属熔炼过程中，其宽动态范围适应不同负载条件，减少能耗浪费。

科研与测试领域

科研机构利用其宽频带性能进行电磁兼容性测试，推动新材料研发。在实验室环境中，传感器提供稳定的反射功率测量，支持前沿技术验证。

使用与维护指南

为大化传感器寿命和精度，建议遵循以下实践：

‌功率与电压管理‌：避免超出3瓦至10千瓦的动态范围，使用射频限幅器保护高功率输入；防止直流电压过载，以免损坏内部元件。

‌连接器维护‌：定期检查射频接口，确保连接器清洁且无损伤，减少传输损耗和测量误差。

‌环境控制‌：存储于干燥、温度稳定的环境中，避免湿度和灰尘影响性能。

  美国BIRD 4027A800K型定向功率传感器规格：

频率范围： 800-950kHz

功率范围： 3 W 至 10 kW

精度：校准频率和功率电平时为 ±1%

其他频率和功率电平时为 ±2% 在

25 ± 10 °C 以外的不确定度中增加 2%

校准功率水平： 1000W 装置：700 瓦

10kW 装置：1700 瓦

均匀度：在校准频率和功率水平下，单位间大偏差为 2%

速度：每秒 2 个读数

大功率： 10 kW 装置 - 12 kW（大）

1 kW 装置 - 1.2 kW（大）

谐波含量： -50 dBc（大值）

驻波比范围： 1.0-2.0

方向性： 28分贝

插入损耗： <0.05 dB

外部直流： 12 VDC，由4421A 多功能功率计供电

连接器：输入和输出连接器必须单独订购，需额外付费

校准周期： 6个月。为单位提供数据之前的性能和之后的性能

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