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M-2300系列美国Malema超声波流量计技术内核
更新时间:2026-04-23 点击次数:60 次

   M-2300系列美国Malema超声波流量计在线直管超声波流量计为要求苛刻的半导体应用提供精确的流量测量。

M-2300 将最新的数字信号处理 (DSP) 和超声波流量传感器技术集成到一个紧凑的装置中。该系列采用简约布线设计,易于安装,可在不影响性能的情况下最大限度地利用空间。

M-2300 系列采用内联 PFA 管,采用耐腐蚀接液部件。 PFA 管将超声波技术与楔形安装压电晶体相结合,以确保精确的流量测量。 M-2300 没有移动部件或机械密封件,可为操作员提供关键过程所需的可靠计量精度。

  M-2300系列美国Malema超声波流量计技术内核如下:

(一)高纯度直列式设计,适配超洁净流体环境

M-2300系列采用高纯度直列式结构,搭配PFA测量管。PFA材质具备的化学稳定性与洁净度,几乎不会与流体发生反应,也不会产生颗粒污染,适配半导体制造中高纯度化学品输送、蚀刻与清洗工艺的流体环境,确保流体介质的纯净度不受测量环节影响。

这种直列式设计还大程度减少了流体流动阻力,避免了因管道结构复杂导致的流体滞留与污染风险,契合半导体行业对生产流程“的严苛要求。

(二)DSP数字信号处理技术,破解气泡干扰难题

在半导体流体输送过程中,微量气泡的混入几乎难以避免,而传统流量测量设备往往会因气泡干扰出现较大误差。M-2300系列集成先进的DSP数字信号处理技术,能够精准识别并过滤气泡产生的干扰信号,提取真实的流量数据。

通过对超声波信号的实时分析与优化处理,该系列流量计的测量精度可达±1%读数,即使在含气泡流体环境中,也能保持稳定可靠的测量表现,为半导体生产工艺的精准控制提供数据支撑。

(三)无接触测量,保障长期稳定运行

与传统机械式流量计不同,M-2300系列采用超声波无接触测量原理,测量过程中没有任何移动部件。这一设计从根本上消除了部件磨损、堵塞等问题,大幅降低了设备的维护成本与故障率。

同时,无移动部件的结构也避免了因部件老化或损坏导致的测量误差,确保设备在长期连续运行中始终保持高精度,满足半导体、生物制药等行业24小时不间断生产的需求。

  M-2300系列美国Malema超声波流量计主要特点

传感器和电子设备集成在一个紧凑的单元中

最大限度地减少布线,轻松安装

无其他障碍物

无移动部件的直线流道

PFA 接液部件耐腐蚀

无离子/颗粒污染

高精度和重复性

高调节比

最小的压力损失

  M-2300系列美国Malema超声波流量计应用领域

化学机械抛光

冷却系统

电化学沉积 (ECD)

无电沉积 (ED)

激光设备

太阳能光伏设备

追踪工具

湿法清洁

湿法工艺/化学品分配系统

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