美国malema CMFC-5000系列流量控制器提供了 ±1.5% 的最高可用测量和控制精度，提供了一系列专为半导体市场而设计的高精度闭环流量控制器。这项获得的科里奥利控制器技术采用 PTFE/PFA 接液部件。它用于各种高纯度应用，包括去离子水、刺激性化学品和 CMP 抛光浆料（包括金刚石）。
CMFC-5000 设计有 1/4" 或 3/8" 端口尺寸，有许多型号，流量范围从每分钟 50 克到每分钟 4,000 克，设定点精度在 1.5% 以内，并提供快速、一致的控制，响应时间小于两秒，提供的精度 - 无论密度、粘度、气体或温度如何。
凭借其先进的数字信号处理，Malema Coriolis 流量控制器技术可以准确测量流量，无论密度、粘度和温度如何变化，确保可靠性和可重复性。此外，Malema CMFC-5000 对含有截留气体（气泡）的流体具有高度耐受性，并能准确测量气泡含量高达 30% 的流量。 Malema 科里奥利流量控制器可最大限度地减少代价高昂的停机时间、提高产量并提高半导体行业的运营盈利能力。
美国malema CMFC-5000系列流量控制器结构设计如下：
（一）全氟材质的流体接触部件
产品的流体接触部件全部采用PFA、PTFE等高纯度氟塑料材质，无任何金属部件与流体直接接触，不仅能有效避免金属离子污染，还具备强的耐腐蚀性，可安全输送各种强酸、强碱、有机溶剂等腐蚀性流体。同时，无密封、无运动部件的设计结构，消除了泄漏与磨损风险，大幅延长了设备的使用寿命。
（二）模块化与灵活配置
CMFC-5000采用模块化设计，可根据流体类型灵活搭配控制阀门：针对抛光浆料等含颗粒流体，配置高速精密电机驱动的夹管阀；针对化学试剂等洁净流体，则选用隔膜阀，确保每种流体都能获得最佳的控制效果。此外，产品支持1/4"或3/8"的多种接口规格，可与现有工艺管路无缝对接。
（三）便捷的电气与通信设计
设备采用24Vdc±10%的宽范围电源输入，功耗仅6W，可直接接入工业控制系统。控制信号支持0-10Vdc或4-20mA模拟量输入，流量信号输出同样兼容这两种标准模拟量，同时可通过USB接口连接PC端GUI程序，实现参数配置、校准与实时监控，满足不同层级的自动化需求。
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