TEM-100型英国porvair过滤器可截留 3 nm 颗粒，适用流速300 scfm 和温度高达 80ºC (176ºF) 的条件。带聚丙烯支撑结构的 ePTFE 膜 (2.04 m2 / 22.0 ft2) 封装于316L 不锈钢壳体内，具备的阻流和耐化学性。使用标准Viton® O 型环（可根据需求提供其他 O 型环)。东莞市广联自动化科技有限公司代理TEM-100型英国porvair过滤器
TEM-100型英国porvair过滤器技术参数如下：
TEM-100系列过滤器的性能优势，源于其每一处细节的针对性设计：
截留精度：采用高孔隙率ePTFE过滤膜，有效过滤面积达2.04㎡（22.0平方英尺），可实现0.003μm（3nm）级别的绝对颗粒截留，过滤效率高达99.999999%，覆盖半导体行业对超纯气体的颗粒管控要求。
高流量适配能力：在3nm截留精度下，最大处理流量可达300 scfm（约8495 slpm），在250 mbar压降下仍能稳定输出7079 slpm的气体流量，解决了大流量工艺场景下“精度与流量难以兼顾"的痛点，尤其适合空间有限但需高流速的管路布局。
耐工况结构设计：滤芯采用聚丙烯支撑骨架，外壳选用10 RA等级电解抛光316L不锈钢，内壁光滑，既具备优异的耐化学腐蚀性能，又能避免颗粒附着堆积；标准配置Viton® O型密封圈，可根据特殊需求替换为FEP封装的FKM材质，适配更多特殊气体场景。
严苛出厂测试：每一台TEM-100过滤器都100%经过氦气检漏测试，泄漏率低于1×10⁻⁹ cc/sec，杜绝微泄漏带来的气体污染风险。产品额定工作压力可达250 psig（17.2bar），在惰性气体环境下最高工作温度可达80℃，可稳定适配绝大多数半导体工艺工况。
TEM-100型英国porvair过滤器应用
• 半导体、平板显示器和其他高纯度应用中的通用和工艺惰
性设施气体。
• 用于关键平板工艺的气体，包括基体退火。
• 用于关键工艺的清洁干燥气体，包括前开式晶圆传送盒
(FOUP) 清洁和 刻。
* 在清洁干燥气体和其他设施气体过滤应用中，流量、温度、颗粒挑战和其
他针对各个系统的具体测试，可以影响整体过滤性能，可能影响 每个过滤
器的有用过滤期限。 在较高的清洁干燥气体温度 (50-69ºC / 122-156ºF)
下，建议在安装后一年更换过滤器。 在 70-80ºC / 158-176ºF 温度范围
内，建议安装后 6 个月更换。过滤器寿命可能因为流量、颗粒挑战和系统有差异而不同，所以用户需要在其系统流程中验证产品寿命。
东莞市广联自动化科技有限公司专业供应进口电磁阀、气缸、泵、传感器、继电器、开关、离合器、过滤器、滤芯、流量计、液位计、编码器、伺服阀等产品。德国美国有公司，厂家一手货源，详请致电。
