英国porvair TEM-200系列过滤器可截留 3 nm 颗粒，适用流速高达 200 scfm 和温度高达 80ºC (176ºF) 的条件。带聚丙烯支撑结构的 ePTFE 膜 (1.36 m2 / 14.6 ft2) 封装于316L 不锈钢壳体内，具备的阻流和耐化学性。使用标准Viton® O 型环（可根据需求提供其他 O 型环）。

   英国porvair TEM-200系列过滤器的详细应用如下：

一般和工艺惰性设施气体。

• 面向关键工艺的清洁干燥气体 (CDA*)，包括 前开式晶圆传送盒 (FOUP) 清洁和光刻。

* 在清洁干燥气体和其他设施气体过滤应用中，流量、温度、颗粒挑战和其他针对各个系统的具体测试，可以影响整体过滤性能，可能影响 每个过滤器的有用过滤期限。 在高 CDA 温度下 (50-69ºC / 122-156ºF)，议在安装一年后更换过滤器。 在 70-80ºC / 158-176ºF 温度范围内，建议安装后 6 个月 更换。过滤器寿命可因为流量、颗粒挑战 和其他系统特定差异而不同，所以用户需要验证其系统内的产品寿命

  英国porvair TEM-200系列过滤器规格：

• 过滤等级

 我们的多孔 ePTFE 过滤器可提供高效率的 3nm 颗粒截

留。

• 最高工作温度*

80°C (176°F).

建议更换周期:工作温度高于 69ºC (156ºF) 时,6 个月。

• 最大工作压力

17.2 bar (250 psig) @ 20°C (68°F)

• 最大前向流动压差

20ºC (68ºF): 6.0 bar (87 psi)

80ºC (176ºF): 4.0 bar (58 psi)

   英国porvair TEM-200系列过滤器特性和优势：

• 电子抛光壳体

 过滤器组件采用 15Ra 电子抛光 316L 不锈钢壳体，可防

 止腐蚀以及内表面累积颗粒。

• 包装外清洁

我们的 GasPro™ TEM-200 过滤器在洁净室清洁和包装，

不接触有机物，可达到包装外不含颗粒和化学物质的洁净

度。最终组件采用过滤后的氮 气 净化，保证初始清洁。

其他预处理可选。

• 多种配件选择，易于安装

标准配件选择包括端面/垫圈密封、压缩、对焊和 NPT 螺

纹。可根据要求提供特殊配件，包括卡箍连接和法兰类

型。

• 通过氦气泄漏检测

所有部件均符合 1x10-9 立方厘米/秒（大气压）标准。

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