TEM-300系列英国porvair管道过滤器可截留 3 nm 颗粒，适用流速高达 120 scfm 和温度高达 80ºC (176ºF) 的条件。带聚丙烯支撑结构的 ePTFE 膜 (0.68 m2 / 7.3 ft2) 封装于316L 不锈钢壳体内，具备的阻流和耐化学性。使用标准Viton® O 型环（可根据需求提供其他 O 型环。

   TEM-300系列英国porvair管道过滤器特性跟优势如下;

 电子抛光壳体

过滤器组件采用 15Ra 电子抛光 316L 不锈钢壳体，可

 止腐蚀以及内表面累积颗粒。

• 包装外清洁

我们的 GasPro™ TEM-300 过滤器在洁净室清洁和包

装，不接触有机物，可达到包装外不含颗粒和化学物质的

洁净 度。最终组件采用过滤后的氮气 净化，保证初始清

洁。其他预处理可选。

• 多种配件选择，易于安装

标准配件选择包括端面/垫圈密封、压缩、对焊和 NPT 螺

纹。可根据要求提供特殊配件，包括卡箍连接和法兰类

型。

• 100% 通过氦气泄漏检测

所有部件均符合 1x10-9 立方厘米/秒（大气压）标准。

   TEM-300系列英国porvair管道过滤器应用:

• 半导体、平板显示器和其他高纯度应用中的通用和工艺惰

性设施气体。

• 用于关键平板工艺的气体，包括基体退火。

• 用于关键工艺的清洁干燥气体，包括前开式晶圆传送盒

(FOUP) 清洁和光刻。

清洁干燥气体和其他设施气体过滤应用中，流量、温度、颗粒挑战和其他针

对各个系统的具体测试 可以影响整体过滤性能，可能影响 每个过滤器的有

用过滤期限。在高 CDA 温度下 (50-69ºC / 122-156ºF)，建议在安装一年后

更换过滤器。 在 70-80ºC / 158-176ºF 温度范围内，建议 安装后 6 个月

更换。过滤器寿命可因为流量, 颗粒挑战和其他系统特定差异 而不同，所以

用户需要在其系统流程中验证产品 寿命。

东莞市广联自动化科技有限公司专业供应进口电磁阀、气缸、泵、传感器、继电器、开关、离合器、过滤器、滤芯、流量计、液位计、编码器、伺服阀等产品。德国美国有公司，厂家一手货源，详请致电。