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PFB-1911-6型英国porvair在线过滤器特点优点介绍
更新时间:2026-09-01 点击次数:22 次

   PFB-1911-6型英国porvair在线过滤器设计用于在流速为 100scfm 且温度为 121°C (250°F) 时,可保留 3 nm 颗粒。

   PFB-1911-6型英国porvair在线过滤器特点优点介绍如下:

电解抛光外壳

 过滤器组件具有 15Ra 电抛光 316L 不锈钢外壳,可防止

 腐蚀和颗粒在内表面积聚。

• 包装外的清洁度

 我们的 GasPro™ PFB-1900 过滤器在洁净室中进行清洁和

 包装,采用无有机物处理,实现包装外、无颗粒、无化学物

 质的清洁度。最后的装配使用过滤后的氮气进行吹扫,以

 到初始清洁度。额外的预处理是可选的。

• 100% 氦气泄漏测试

 所有装置均按 1x10-9 atm cc/秒进行测试。

• 采用 PFA 介质支撑结构设计

 该过滤器专为需要高耐腐蚀性的超高纯度应用而设计。

image.png

   PFB-1911-6型英国porvair在线过滤器优势:

1. **全氟接触流道,耐强腐蚀特种气体**

介质与壳体全部为 PTFE/PFA 全氟材质,无金属接触气体,可用于卤素类、卤化物等强腐蚀工艺气体,这是 TEM‑17xx 不锈钢金属过滤器无法胜任的工况,防止壳体腐蚀产生金属颗粒污染下游晶圆与腔体。

2. **纳米级颗粒拦截能力**

ePTFE 微孔膜筛分过滤,可拦截纳米级别气溶胶颗粒,满足先进制程半导体对气体颗粒度严苛指标,保护 MFC、阀门、反应腔。

3. **胶囊一体化无内部密封圈设计**

整体胶囊结构,内部不存在 O‑Ring,规避密封圈有机物析出、老化失效、旁路泄漏风险,降低特气系统污染隐患。

4. **极低可析出物、低金属离子溶出**

PFA 壳体 + 热合 ePTFE 膜,无胶粘剂,洁净室出厂预处理,总可析出物 TOC 与金属离子释放水平低,适配先进制程 UHP 供气系统。

5. **开箱即用,减少现场预处理**

出厂高纯吹扫 + 真空封装,减少用户现场长时间烘烤、吹扫工序,缩短项目调试周期。

东莞市广联自动化科技有限公司专业供应进口电磁阀、气缸、泵、传感器、继电器、开关、离合器、过滤器、滤芯、流量计、液位计、编码器、伺服阀等产品。德国美国有公司,厂家一手货源,详请致电。

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