TEM-215-16型英国porvair管道过滤器可截留 3 nm 颗粒，适用流速高达 200 scfm 和温度高达 80ºC (176ºF) 的条件。带聚丙烯支撑结构的 ePTFE 膜 (1.36 m2 / 14.6 ft2) 封装于316L 不锈钢壳体内，具备的阻流和耐化学性。使用标准Viton® O 型环（可根据需求提供其他 O 型环）。

应用

• 一般和工艺惰性设施气体。

• 面向关键工艺的清洁干燥气体 (CDA*)，包括 前开式晶圆 传送盒 (FOUP) 清洁和光刻。

* 在清洁干燥气体和其他设施气体过滤应用中，流量、温度、颗粒挑战和其他针对各个系统的具体测试，可以影响整体过滤性能，可能影响 每个过滤器的有用过滤期限。 在高 CDA 温度下 (50-69ºC / 122-156ºF)，议在安装一年后更换过滤器。 在 70-80ºC / 158-176ºF 温度范围内，建议安装后 6 个月 更换。过滤器寿命可因为流量、颗粒挑战 和其他系统特定差异而不同，所以用户需要验证其系统内的产品寿命

   TEM-215-16型英国porvair管道过滤器性能参数：

‌核心过滤精度‌：实现‌3nm级超微颗粒截留‌，可阻挡半导体产线中最易引发晶圆缺陷的纳米级悬浮颗粒，适配7nm以下先进制程的高纯气体洁净度要求

‌耐压能力‌：20℃环境下最大工作压力可达‌17.2 bar（250 psig）‌，覆盖大宗气体主管路的常规工作压力范围

‌压差耐受表现‌：20℃时最大正向流道压差达6.0 bar（87 psi），80℃高温工况下仍可保持4.0 bar（58 psi）的压差耐受能力

‌温度耐受范围‌：最高连续工作温度达‌80℃（176°F）‌，在50-69℃的CDA工况下推荐1年更换周期，70-80℃高温工况下推荐6个月更换周期

‌泄漏控制表现‌：100%出厂全检氦气泄漏率，指标低至‌1×10⁻⁹ atm cc/sec‌，达到氦检级零泄漏标准，杜绝外界杂质渗入高纯气路

‌开箱洁净度等级‌：全流程在Class 10级洁净室内完成组装、清洗和封装，最终用高纯氮气吹扫封装，开箱即实现无颗粒、无化学残留、无有机污染的超高洁净度

‌流量能力上限‌：最大处理流量可达‌200 scfm‌，是同精度等级中流量表现突出的大流量管道过滤器之一，适配大尺寸晶圆厂的大宗气体主管路大流量需求

‌介质兼容性‌：ePTFE滤膜+316L不锈钢壳体的组合，兼容绝大多数高纯惰性气体、洁净干燥空气（CDA）、常规工艺特种气体，耐化学腐蚀性能优异。

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