英国porvair TEM-328-16型管道过滤器特性优势
更新时间:2026-09-23 点击次数:25 次
英国porvair TEM-328-16型管道过滤器特性优势如下:
电子抛光壳体
过滤器组件采用 15Ra 电子抛光 316L 不锈钢壳体,可止腐蚀以及内表面累积颗粒。
• 包装外清洁
我们的 GasPro™ TEM-300 过滤器在洁净室清洁和包装,不接触有机物,可达到包装外不含颗粒和化学物质的洁净 度。最终组件采用过滤后的氮气 净化,保证初始清洁。其他预处理可选。
• 多种配件选择,易于安装
标准配件选择包括端面/垫圈密封、压缩、对焊和 NPT 螺纹。可根据要求提供特殊配件,包括卡箍连接和法兰类型。
• 100% 通过氦气泄漏检测所有部件均符合 1x10-9 立方厘米/秒(大气压)标准。
英国porvair TEM-328-16型管道过滤器详细应用:
半导体、平板显示器和其他高纯度应用中的通用和工艺惰性设施气体。
• 用于关键平板工艺的气体,包括基体退火。
• 用于关键工艺的清洁干燥气体,包括前开式晶圆传送盒
(FOUP) 清洁和光刻。
清洁干燥气体和其他设施气体过滤应用中,流量、温度、颗粒挑战和其他针对各个系统的具体测试 可以影响整体过滤性能,可能影响 每个过滤器的有用过滤期限。在高 CDA 温度下 (50-69ºC / 122-156ºF),建议在安装一年后更换过滤器。 在 70-80ºC / 158-176ºF 温度范围内,建议 安装后 6 个月更换。过滤器寿命可因为流量, 颗粒挑战和其他系统特定差异 而不同,所以用户需要在其系统流程中验证产品 寿命。

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