GasPro™ TEM-100 系列过滤器可截留 3 nm 颗粒，适用流速300 scfm 和温度高达 80ºC (176ºF) 的条件。带聚丙烯支撑结构的 ePTFE 膜 (2.04 m2 / 22.0 ft2) 封装于316L 不锈钢壳体内，具备的阻流和耐化学性。使用标准Viton® O 型环（可根据需求提供其他 O 型环)。
TEM-115-16 型英国porvair管道过滤器特性与优势如下：
电子抛光壳体
过滤器组件采用 15Ra 电子抛光 316L 不锈钢壳体，可防
止腐蚀以及内表面累积颗粒。
• 包装外清洁
我们的 GasPro™ TEM-100 过滤器在洁净室清洁和包
装，不接触有机物，可达到包装外不含颗粒和化学物质的
洁净 度。最终组件采用过滤后的氮气 净化，保证初始清
洁。其他预处理可选。
• 多种配件选择，易于安装
标准配件选择包括端面/垫圈密封、压缩、对焊和 NPT 螺
纹。可根据要求提供特殊配件，包括卡箍连接和法兰类
型。
• 100% 通过氦气泄漏检测
所有部件均符合 1x10-9 立方厘米/秒（大气压）标准
TEM-115-16 型英国porvair管道过滤器应用：
• 半导体、平板显示器和其他高纯度应用中的通用和工艺惰
性设施气体。
• 用于关键平板工艺的气体，包括基体退火。
• 用于关键工艺的清洁干燥气体，包括前开式晶圆传送盒
(FOUP) 清洁和 刻。
* 在清洁干燥气体和其他设施气体过滤应用中，流量、温度、颗粒挑战和其
他针对各个系统的具体测试，可以影响整体过滤性能，可能影响 每个过滤
器的有用过滤期限。 在较高的清洁干燥气体温度 (50-69ºC / 122-156ºF)
下，建议在安装后一年更换过滤器。 在 70-80ºC / 158-176ºF 温度范围
内，建议安装后 6 个月更换。过滤器寿命可能因为流量、颗粒挑战和系统有差异而不同，所以用户需要在其系统流程中验证产品寿命。
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