英国Porvair GasProTM 高纯度 Sinterflo® F 烧结纤维金属介质用于关键的半导体、光伏和其他微电子气体处理应用。这包括制造光伏 (PV) 设备使用的薄膜沉积系统中的气体分配和输送系统。在玻璃前板和太阳能电池板制造过程中,PV1系列过滤器可清除氩气、氨气、氮气等工艺气体以及等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 系统中使用的硅烷中的固体污染物。我们的高效率金属纤维过滤器采用 316L 不锈钢 和镍介质。所有产品均置于电子抛光不锈钢五金件内。316L 不锈钢过滤器壳体的机械强度高,可在产品寿命内提供可靠服务。过滤器壳体通过 100% 氦气泄漏检测。根据应用和服务环境,PV1 过滤器还可提供更灵活的焊接表面,以额外节省成本。
PV1-1100型英国porvair金属纤维过滤器特性优势如下:
• 过滤效率
高效截留 3 nm 颗粒。
• 在恶劣环境下耐温
多孔 Sinterflo® F 烧结金属介质提供的机械强度,抗腐
蚀性能提高,在恶劣环境下耐温。
• 耐热性
所有316L 不锈钢或镍结构可耐受高达 200°C (392°F). 的
温度。在非惰性气体应用中,最高温度可能有差异。
• 耐腐蚀性
我们的GasProTM 使用点过滤器五金件具备15Ra, 电抛光
表面,可防止腐蚀和颗粒形成,提供可靠服务。结构稳
固、耐腐蚀性能优异,适合多种蚀刻和化学气相沉积处理
气体。
• 洁净度和品质
我们的过滤器在洁净室清洁和包装,不接触有机物,可达
到包装外不含颗粒和化学物质的洁净度。最终组件采用过
滤后氮气清洁, 保证初始清洁。其他预处理可选。


东莞市广联自动化科技有限公司专业供应进口电磁阀、气缸、泵、传感器、继电器、开关、离合器、过滤器、滤芯、流量计、液位计、编码器、伺服阀等产品。德国美国有公司,厂家一手货源,详请致电。




