GasPro™ TEM-1100 系列过滤器可截留 3 nm 颗粒，适用流速高达 300 scfm 和温度高达 150ºC (302ºF) 的条件。PTFE 膜和全氟聚合物支撑结构位于 316L 不锈钢电子抛光焊接壳体内。最终组件采用过滤后氮气清洁，保证初始清洁。
英国porvair TEM-1150-24型物管道过滤器特性优势如下：
过滤等级
我们的多孔 PTFE 过滤器可提供高效率的 3nm 颗粒截
留。
• 构造
带聚丙烯支撑结构的 ePTFE 膜 (2.73 m2 / 29.4 ft2) 封
装于 316L 不锈钢壳体内，具备的阻流和耐化学性。
使用标准 Viton® O 型环 (可根据需求提供其他 O 型
环）。
• 电子抛光壳体
过滤器组件采用 15Ra 电子抛光 316L 不锈钢壳体，可防
止腐蚀以及内表面累积颗粒。
• 最大压差/温度
前向：
80 psid (5.5 bar) @ 75ºF (24ºC)
55 psid (3.8 bar) @ 167ºF (75ºC)
30 psid (2.0 bar) @ 257ºF (125ºC)
15 psid (1.0 bar) @ 300ºF (150ºC)
• 最大工作压力
17.2 bar (250 psig)
• 100% 通过氦气泄漏检测
所有部件均符合 1x10-9 立方厘米/秒（大气压）标准。
• 包装外清洁
我们的 GasPro™ TEM-1100 过滤器在洁净室清洁和包
装，不接触有机物，可达到包装外不含颗粒和化学物质
的 洁 净度。最终组件采用过滤后氮气清洁，保证初始清
洁。其他预处理可选。
英国porvair TEM-1150-24型物管道过滤器应用：
• 半导体、平板显示器和其他高纯度应用中 的通用和工艺惰性设施气体。
• 用于关键平板工艺的气体，包括基体退火。
• 用于关键工艺的清洁干燥气体，包括前开 式晶圆传送盒(FOUP) 清洁和光刻。
在清洁干燥气体和其他设施气体过滤应用中，流量、温度、颗粒挑战和特定于每个系统的其他差异，可影响整体过滤性能，也可能会影响每个过滤器的有效过滤期限。在较高的清洁干燥气体温度 (100-130ºC / 212-266ºF) 下，建议在安装后一年更换过滤器。在 131-150ºC / 286-302ºF 温度范围内，建议安装后最长 6 个月更换。过滤器寿命可能因为流量、颗粒挑
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