Porvair GasProTM 高纯度 Sinterflo® F 烧结纤维金属介质用于关键的半导体、光伏和其他微电子气体处理应用。这包括制造光伏 (PV) 设备使用的薄膜沉积系统中的气体分配和输送系统。在玻璃前板和太阳能电池板制造过程中,PV1系列过滤器可清除氩气、氨气、氮气等工艺气体以及等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 系统中使用的硅烷中的固体污染物。我们的高效率金属纤维过滤器采用 316L 不锈钢 和镍介质。所有产品均置于电子抛光不锈钢五金件内。
316L 不锈钢过滤器壳体的机械强度高,可在产品寿命内提供可靠服务。过滤器壳体通过 100% 氦气泄漏检测。根据应用和服务环境,PV1 过滤器还可提供更灵活的焊接表面,以额外节省成本。
PV1-1200型英国porvair金属纤维过滤器应用场景如下:
PV1-1200型金属纤维过滤器是光伏制造领域的专用定制化过滤部件,同时也适配多个对全金属过滤有高要求的场景:
在光伏电池片的PECVD薄膜沉积系统的工艺气路中,它作为终端高精度过滤单元,清除硅烷、氨气等反应气体中的微量纳米颗粒,避免颗粒在硅片表面形成薄膜针孔、色差等缺陷,直接提升电池片的转换效率与生产良率。
在光伏产线的扩散、刻蚀工艺的特种气体输送支路中,它作为核心保护过滤部件,拦截气路中微量的金属颗粒与腐蚀产物,保护下游精密质量流量控制器、工艺阀门等关键部件,避免部件卡涩、计量不准,保障整线工艺参数的一致性。
在半导体制造的非腐蚀性高纯气体输送支路中,它可作为终端精密过滤部件,适配中低流量的超高纯气体工况,为下游工艺腔体提供洁净的工艺气体,避免纳米级颗粒污染晶圆表面。
在航空航天、特种冶金等对高温高纯气体有要求的场景中,它凭借全金属耐高温结构,可在高温惰性气体输送系统中实现长期稳定的高精度过滤,满足特殊工业场景的严苛使用需求。

东莞市广联自动化科技有限公司专业供应进口电磁阀、气缸、泵、传感器、继电器、开关、离合器、过滤器、滤芯、流量计、液位计、编码器、伺服阀等产品。德国美国有公司,厂家一手货源,详请致电。




